2024-03-28T13:28:35Z
https://u-ryukyu.repo.nii.ac.jp/oai
oai:u-ryukyu.repo.nii.ac.jp:02019188
2023-05-26T00:56:50Z
1642838158423:1642838158860:1655711035808
1642838403551:1642838411479
Study on control of bonding hydrogen concentration and properties of a-C:H film
a-C:H薄膜における結合水素量の制御とその物性に関する研究
大城, 竹彦
博士(工学)
http://purl.org/coar/resource_type/c_db06
琉球大学
2007-03-23
VoR
甲 理工研第111号