@techreport{oai:u-ryukyu.repo.nii.ac.jp:02004788, author = {比嘉, 晃 and Higa, Akira}, month = {Jun}, note = {科研費番号: 19560319, 2007年度~2008年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書, 研究概要:アモルファス炭素薄膜(以下,a-C:H 薄膜と呼ぶ)の電子デバイス応用を実現するためには,a-C:H 薄膜の伝導度制御が必要不可欠である.本研究では,この伝導度制御を行うために化学ドーピング法によるヨウ素ドーピングを行った.本手法によるドーピング効果は,a-C:H 薄膜の膜構造に強く依存すること,また,ドーピングすることによって,薄膜の光学ギャップエネルギーや電気抵抗率が制御可能であることが明らかになり,電子デバイス応用のためのドーピング技術確立に対する重要な知見が得られた., 研究報告書}, title = {電子デバイス応用のためのアモルファス炭素薄膜のドーピング技術の開発}, year = {2009} }