WEKO3
アイテム
Ni蒸着膜における内部応力の入射角依存性
http://hdl.handle.net/20.500.12000/2123
http://hdl.handle.net/20.500.12000/21231be31112-7b34-49b6-b018-8c8fe24c61de
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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![]() |
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Item type | デフォルトアイテムタイプ(フル)(1) | |||||||||
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公開日 | 2007-10-25 | |||||||||
タイトル | ||||||||||
タイトル | Ni蒸着膜における内部応力の入射角依存性 | |||||||||
言語 | ja | |||||||||
タイトル | ||||||||||
タイトル | Effects of Oblique-Incidence on Internal Stress in Evaporated Ni Films | |||||||||
言語 | en | |||||||||
作成者 |
新里, 祐宏
× 新里, 祐宏
× Shinzato, Sukehiro
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アクセス権 | ||||||||||
アクセス権 | open access | |||||||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||
内容記述 | ||||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||||
内容記述 | The internal stress in vapour-deposited Ni films has been studied as a function of the incidence angle of the evaprant. The main findings are as follows:\n1. The internal stress had a constant value for thickness between 0.1 and 0.6μm.\n2. The total stress decresed with increasing the incidence angle and the decreasing rate of the total stress had the maximum value at the incidence angle of 45°.\n3. The stress anisotropy increased with the increase of the incidence angle.\n4. The total stress tended to decrease with increasing the deposition rate for all incidence angles. | |||||||||
内容記述 | ||||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||||
内容記述 | 紀要論文 | |||||||||
出版者 | ||||||||||
言語 | ja | |||||||||
出版者 | 琉球大学教育学部 | |||||||||
言語 | ||||||||||
言語 | jpn | |||||||||
資源タイプ | ||||||||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||
出版タイプ | ||||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||
識別子 | ||||||||||
識別子 | http://hdl.handle.net/20.500.12000/2123 | |||||||||
識別子タイプ | HDL | |||||||||
収録物識別子 | ||||||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||
収録物識別子 | 0386-5746 | |||||||||
収録物識別子 | ||||||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||
収録物識別子 | AN10144831 | |||||||||
収録物名 | ||||||||||
言語 | ja | |||||||||
収録物名 | 琉球大学教育学部紀要 第一部・第二部 | |||||||||
書誌情報 |
号 31, p. 343-347 |