| Item type |
デフォルトアイテムタイプ（フル）(1) |
| 公開日 |
2009-09-14 |
| タイトル |
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タイトル |
変形バイメタルモデルによる拡散不純物表面濃度の決定 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Determination of Surface Concentration of Diffused Impurity by the Modified Bimetallic Model. |
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言語 |
en |
| 作成者 |
前濱, 剛廣
宮里, 博明
宮城, 洋一郎
安冨祖, 忠信
Maehama, Takehiro
Miyasato, Hiroaki
Miyagi, Yoichiro
Afuso, Chushin
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| アクセス権 |
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アクセス権 |
open access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 |
| 主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Diffusion |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Surface concentration |
| 主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Gallium arsenide |
| 主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Cadmium |
| 主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Warpage |
| 主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
X-ray double crystal method |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
A new method for measuring the surface concentration of the diffused impurity atoms is proposed. Because of the lattice distortion due to the distribution of the diffused impurity atoms, the substrate crystal is warped like bimetals. The equations to calculate the warpage angle of the substrate crystal are derived. The surface concentration of the diffused impurity of the substrate is decided so that the value calculated by the equations fits in the measured value of the warpage angle. The method was actually applied to {l00} GaAs substrates in which Cd atoms had been diffused at 1000℃ and 900℃ respectively. The calculated values of the warpage angle of the substrate assuming the complementary error function for the Cd distribution are in good agreement with the experimental values. The Cd-surface concentrations diffused at 1000℃ and 900℃ were decided as 1.3×10^<19> and 2×10^<18>cm^<-3>, respectively. For the reduction of the warpage angle when the diffused layer was removed, the theoretical values were also in good agreement with the experimental values. From these facts, therefore, the validity of the assumption of the complementary error function for the Cd-distribution were confirmed. |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
紀要論文 |
| 出版者 |
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出版者 |
琉球大学工学部 |
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言語 |
ja |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| 出版タイプ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| 識別子 |
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識別子 |
http://hdl.handle.net/20.500.12000/12448 |
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識別子タイプ |
HDL |
| 収録物識別子 |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0389-102X |
| 収録物識別子 |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN0025048X |
| 収録物名 |
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収録物名 |
琉球大学工学部紀要 |
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言語 |
ja |
| 書誌情報 |
号 39,
p. 87-97,
発行日 1990-03
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No39p87.pdf
