Item type |
デフォルトアイテムタイプ(フル)(1) |
公開日 |
2009-09-14 |
タイトル |
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タイトル |
バイメタルモデルによる基板エピタキシャル層間格子定数差の測定 |
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言語 |
ja |
タイトル |
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タイトル |
Measurements of the Lattice Constant Difference between Epitaxial Layer and Substrate by a New Bimetallic Structure Model |
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言語 |
en |
作成者 |
前濱, 剛廣
宮里, 博明
安冨祖, 忠信
Maehama, Takehiro
Miyazato, Hiroaki
Afuso, Chushin
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アクセス権 |
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アクセス権 |
open access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 |
主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Epitaxial layer |
主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Lattice constant |
主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Warpage |
主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
X-ray double crystal method |
主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Gallium arsenide |
内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
A bimetallic model is proposed in measurement of very small difference rate of lattice constant Δa/a between epitaxial layer and the substrate of the epitaxial layer/substrate structure. It is predicted theoretically that Δa/a of the specimen can be measured up to the order of 10^<-7> by this method, if the epitaxial layer is thicker than 3μm. The method is applied to non-doped GaAs epitaxial layer / Cr-doped GaAs substrate structure. Δa/a of the specimen is 1.7×10^<-6> and the lattice constant of the non-doped GaAs is slightly larger than that of Cr-doped GaAs. The concentration of Cr (9.4ppm) obtained from this lattice constant difference does not agree with the doping concentration of Cr(0.1-0.5ppm) in the substrate. This suggests that some other lattice defects are contained in the specimen. The method can not be appled to the specimen with the scratched surface, because such specimen warps abnormally with reducing the thickness. |
内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
紀要論文 |
出版者 |
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出版者 |
琉球大学工学部 |
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言語 |
ja |
言語 |
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言語 |
jpn |
資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
出版タイプ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
識別子 |
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識別子 |
http://hdl.handle.net/20.500.12000/12449 |
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識別子タイプ |
HDL |
収録物識別子 |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0389-102X |
収録物識別子 |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN0025048X |
収録物名 |
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収録物名 |
琉球大学工学部紀要 |
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言語 |
ja |
書誌情報 |
号 38,
p. 11-20,
発行日 1989-09
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