WEKO3
アイテム
パネル上高性能薄膜素子をめざしたスパッタシリコン膜の結晶化に関する研究
http://hdl.handle.net/20.500.12000/0002019076
http://hdl.handle.net/20.500.12000/0002019076aa1db391-0d23-4e06-b747-bb68648d029f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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rikoken223.pdf
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| Item type | 琉球大学リポジトリ登録用アイテムタイプ(1) | |||||||
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| 公開日 | 2022-06-10 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | Advanced Crystallization of Sputtered Si Films for System on Panel Technology | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | パネル上高性能薄膜素子をめざしたスパッタシリコン膜の結晶化に関する研究 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 作成者 |
MUGIRANEZA, BIREGEYA JEAN DE DIEU
× MUGIRANEZA, BIREGEYA JEAN DE DIEU
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| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| 出版タイプ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲 理工研第223号 | |||||||
| 学位名 | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位名 | 博士（学術） | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2011-09-12 | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位授与機関名 | 琉球大学 | |||||||
