Item type |
デフォルトアイテムタイプ(フル)(1) |
公開日 |
2010-01-05 |
タイトル |
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タイトル |
熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド薄膜の合成とその評価 |
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言語 |
ja |
タイトル |
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タイトル |
Synthesis of Diamond Film by Hot-Filament CVD and its Evaluation |
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言語 |
en |
作成者 |
宮城, 光秀
新垣, 学
比嘉, 晃
渡久地, 實
安冨祖, 忠信
Miyagi, Mitsuhide
Arakaki, Manabu
Higa, Akira
Toguchi, Minoru
Afuso, Chushin
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アクセス権 |
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アクセス権 |
open access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 |
主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Diamond film |
主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Hot-filanment chemical vapor deposition |
主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Electron diffraction |
主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Raman spectroscopy |
主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
FE-SEM |
内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Diamond films have been synthesized on Si (100) substrate by hot-filamet chimical vapor deposition (H-F CVD). The reaction gases are CH_4/H_2. CH_3OH/H_2 and C_2H_5OH/H_2 mixture. The films were evaluated by scanning electron microscopy (SEM), electron diffraction and Raman spectroscopy. Diamond films composed of well-faceted particles have been formed with CH_3OH/H_2 mixture, at substrate temperature 800℃, at filament temperature 200℃, under gas pressures ranging from 10 Torr to 30 Torr and at concentrations of CH_3OH ranging from 29 vol. % to 38 vol. %. Nucreation density and growth rate of diamond films increased in at high filament temperature and in using organic compounds which have lower dissociation energy. It is considered that the ratio of atomic carbon to atomic hydrogen generated from the original gas mixture is important for diamond growth. |
内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
紀要論文 |
出版者 |
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言語 |
ja |
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出版者 |
琉球大学工学部 |
言語 |
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言語 |
jpn |
資源タイプ |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
出版タイプ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
識別子 |
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識別子 |
http://hdl.handle.net/20.500.12000/14447 |
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識別子タイプ |
HDL |
収録物識別子 |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0389-102X |
収録物識別子 |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN0025048X |
収録物名 |
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言語 |
ja |
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収録物名 |
琉球大学工学部紀要 |
書誌情報 |
号 46,
p. 203-217,
発行日 1993-09
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